Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Research Publications in journals:
UV laser-induced high resolution cleaving of Si wafers for micro/nano devices and polymeric waveguide characterization
Year:2011
Research Areas
  • Engineering
Information
Abstract
UV laser-induced high resolution cleaving of Si wafers for micro/nano devices and polymeric waveguide characterization
International
Si
JCR
Si
Title
Applied Surface Science
ISBN
0169-4332
Impact factor JCR
1,793
Impact info
Volume
257
10.1016/j.apsusc.2010.11.021
Journal number
From page
5424
To page
5428
Month
SIN MES
Ranking
Participants
  • Autor: Rafael Casquel Del Campo (UPM)
  • Autor: Miguel Holgado Bolaños (UPM)
  • Autor: Juan José García-Ballesteros . (UPM)
  • Autor: K. Zinoviev (Instituto de Microelectrónica de Barcelona)
  • Autor: C. Fernández-Sánchez (Instituto de Microeléctronica de Barcelona)
  • Autor: Francisco Javier Sanza Gutierrez (UPM)
  • Autor: Carlos Luis Molpeceres Alvarez (UPM)
  • Autor: Maria Fe Laguna Heras (UPM)
  • Autor: A Llobera (Instituto de Microelectrónica de Barcelona)
  • Autor: Jose Luis Ocaña Moreno (UPM)
  • Autor: C. Dominguez (Instituto de Microeléctronica de Barcelona)
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Investigación en Ingeniería y Aplicaciones del Láser
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro Laser
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