Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Other publications:
E-beam fabrication on silicon nitride of Fabry-Perot optical sensors
Year:2011
Research Areas
  • Engineering
Information
Abstract
E-beam fabrication on silicon nitride of Fabry-Perot optical sensors
International
No
Entity
Place
Pages
Reference/URL
Congreso: 37th International Conference on Micro and Nano Engineering
Publication type
Póster
Participants
  • Autor: A. Griol
  • Autor: J. Mira
  • Autor: J. Hurtado
  • Autor: L. Bellieres
  • Autor: J. Ayucar
  • Autor: J. Martí
  • Autor: Miguel Holgado Bolaños (UPM)
  • Autor: Rafael Casquel Del Campo (UPM)
  • Autor: Francisco Javier Sanza Gutierrez (UPM)
  • Autor: F.J. Aparicio
  • Autor: A. Barranco
  • Autor: A. Borrás
  • Autor: A.R. González-Elipe
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Investigación en Ingeniería y Aplicaciones del Láser
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro Laser
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