Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
Fabrication process of Mo/Au TES at RT (POSTER)
Año:2011
Áreas de investigación
  • Ingenierías
Datos
Descripción
We report on the fabrication details of TES based on Mo/Au bilayers. The Mo layer is deposited by radio frequency (RF) sputtering and capped with a sputter deposited thin Au protection layer. Afterwards, a second Au layer of suitable (lower) resistivity is deposited ex?situ by e?beam evaporation, until completion of the total desired Au thickness. The deposition was performed at room temperature (RT) on LPCVD Si3N4 membranes. Such a deposition procedure is very reproducible and allow controlling the critical temperature (Tc) and normal electrical resistance (RN) of the Mo/Au bilayer. The process is optimized to achieve low stress bilayers, thus avoiding the undesirable curvature of the membranes. Bilayers are patterned using photolithographic techniques and wet etching procedures. Mo superconducting paths are used to contact the Mo/Au bilayers, thus ensuring good electrical conductivity and thermal isolation. The entire fabrication process let to stable and reproducible sensors with required and tunable functional properties
Internacional
Si
Nombre congreso
14th International Workshop on Low Temperature Detectors
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Heidelberg, Alemania
Revisores
Si
ISBN o ISSN
0000-0000
DOI
Fecha inicio congreso
01/08/2011
Fecha fin congreso
05/08/2011
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Título de las actas
Proceedings of the Workshop
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: I. Fernández-Martínez Instituto de Microelectrónica de Madrid (CSIC)
  • Autor: M. Parra-Borderías Instituto de Ciencia de Materiales de Aragón
  • Autor: O. Gil Institut de Ciència de Materials de Barcelona (CSIC)
  • Autor: A. Camón Instituto de Ciencia de Materiales de Aragón
  • Autor: L. Fábrega Institut de Ciència de Materials de Barcelona (CSIC)
  • Autor: J.L. Costa-Krämer Instituto de Microelectrónica de Madrid (CSIC)
  • Autor: Raquel Gonzalez Arrabal UPM
  • Autor: J. Sesé Instituto de Nanociencia de Aragón
  • Autor: F. Briones Instituto de Microelectrónica de Madrid (CSIC)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Fusión Nuclear Inercial y Tecnología de fusión
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto de Fusión Nuclear
  • Departamento: Ingeniería Nuclear