Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Research Project:
AYUDA PARA LA COORINACIÓN DEL PROYECTO EUROPEO SUPERIMAGE
Year:2012
Research Areas
  • Engineering
Information
Abstract
El proyecto pretende profundizar en el estudio de los materiales de índice de refracción positivo y sus aplicaciones a la super-resolución. El proyecto contempla el diseño de distintos sistemas de super-resolución y su aplicación específica en el campo de la fotolitografía óptica. Los resultados del proyecto podrían revolucionar el estado del arte de la fabricación de circuitos integrador, permitiendo la fabricación de dispositivos más pequeños. Los objetivos del proyecto consisten en desarrollar la tecnología de super-resolución de imágenes con guías de onda de índice de refracción positivo, para aplicaciones de fotolitografía óptica en la fabricación de semiconductores. Principalmente, se persiguen los siguientes 3 objetivos: ? Desarrollo de los conceptos de formación de imagen que proporcionan una resolución significativamente por debajo de los límites de difracción de los sistemas convencionales, sobre todo con magnificación distinta a la unidad y sobre grandes áreas. ? Diseño y fabricación de una prueba de concepto de sistemas con super-resolución basado en estos conceptos, obteniendo parámetros de funcionamiento que avancen de manera importante sobre el estado del arte. ? Aplicación de los nuevos conceptos desarrollados al diseño de una guía de ondas óptica de super-resolución para litografía o inspección de procesos litográficos.
International
No
Project type
Proyectos y convenios en convocatorias públicas competitivas
Company
MINISTERIO DE CIENCIA E INNOVACIÓN
Entity Nationality
ESPAÑA
Entity size
Pequeña Empresa (11-50)
Granting date
Participants
  • Director: Juan Carlos Miñano Dominguez (UPM)
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: Grupo de Investigación: Ingeniería Óptica
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro de Domótica Integral, CEDINT
  • Departamento: Electrónica Física
S2i 2020 Observatorio de investigación @ UPM con la colaboración del Consejo Social UPM
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNCIDE 2011 (OTR-2011-0236)
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNPACTO (IPT-020000-2010-22)