Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
Hydrogenated amorphous silicon deposited by high pressure sputtering for HIT solar cells
Año:2013
Áreas de investigación
  • Células solares
Datos
Descripción
Hydrogenated amorphous silicon thin films were deposited using a high pressure sputtering (HPS) system. In this work, we have studied the composition and optical properties of the films (band-gap, absorption coefficient), and their dependence with the deposition parameters. For films deposited at high pressure (1 mbar), composition measurements show a critical dependence of the purity of the films with the RF power. Films manufactured with RF-power above 80W exhibit good properties for future application, similar to the films deposited by CVD (Chemical Vapor Deposition) for hydrogenated amorphous silicon.
Internacional
Si
Nombre congreso
2013 Spanish Conference on Electron Devices (CDE)
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Valladolid
Revisores
Si
ISBN o ISSN
978-14-6734-666-5
DOI
Fecha inicio congreso
12/02/2013
Fecha fin congreso
14/02/2013
Desde la página
337
Hasta la página
340
Título de las actas
Proc. CDE-2013
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: R. Garcia-Hemansanz
  • Autor: E. Garcia-Hemme
  • Autor: D. Pastor
  • Autor: A. del Prado
  • Autor: I. Martil
  • Autor: G. Gonzalez-Diaz
  • Autor: Javier Olea Ariza UPM
  • Autor: F.J. Ferrer
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Silicio y Nuevos Conceptos para Células Solares
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto de Energía Solar