Research Project:
TECNOLOGÍAS PARA LA FABRICACIÓN DE MICROSISTEMAS ELECTROMECÁNICOS (MEMS) BASADOS EN EL ACCIONAMIENTO PIEZOELÉCTRICO CON NITRURO DE ALUMINIO (AlN): OPTIMIZACIÓN DE LOS MATERIALES Y DE SU PROCESADO.
TECNOLOGÍAS PARA LA FABRICACIÓN DE MICROSISTEMAS ELECTROMECÁNICOS (MEMS) BASADOS EN EL ACCIONAMIENTO PIEZOELÉCTRICO CON NITRURO DE ALUMINIO (AlN): OPTIMIZACIÓN DE LOS MATERIALES Y DE SU PROCESADO.
Year:2006
Research Areas
Information
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Abstract
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International
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No |
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Project type
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Proyectos y convenios en convocatorias públicas competitivas |
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Company
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Ministerio de Educación y Ciencia |
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Entity Nationality
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Sin nacionalidad |
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Entity size
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Granting date
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Participants
- participante: Alfredo SANZ HERVÁS
- participante: Jesús SANGRADOR GARCÍA
- participante: Lucía VERGARA HERRERO
- participante: Jimena OLIVARES ROZA
- director: Enrique IBORRA GRAU
- participante: Marta CLEMENT LORENZO
- participante: Sheila GONZÁLEZ CASTILLA
Research Group, Departaments and Institutes related
- Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y materiales electrónicos
S2i 2020 Observatorio de investigación @ UPM con la colaboración del Consejo Social UPM
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNPACTO (IPT-020000-2010-22)