Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Communications at congresses:
The influence of substrate-bias on the HIPIMS Tungsten films
Year:2014
Research Areas
  • Engineering
Information
Abstract
The influence of substrate-bias on the HIPIMS Tungsten films
International
Si
Congress
5th International Conference on High Power Impulse Magnetron Sputtering (HIPIMS) 2014
960
Place
Sheffield, UK
Reviewers
Si
ISBN/ISSN
0000-0000
Start Date
30/06/2014
End Date
03/07/2014
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1
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26
Proceedings
Participants
  • Autor: Nuria Gordillo Garcia (UPM)
  • Autor: Miguel Panizo Laiz (UPM)
  • Autor: G. Balabanian
  • Autor: G. Pedroche Sánchez
  • Autor: I. Fernández-Martínez
  • Autor: F. Briones
  • Autor: Jose Manuel Perlado Martin (UPM)
  • Autor: Raquel Gonzalez Arrabal (UPM)
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: Grupo de Investigación: Fusión Nuclear Inercial y Tecnología de fusión
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto de Fusión Nuclear
  • Departamento: Ingeniería Energética
S2i 2020 Observatorio de investigación @ UPM con la colaboración del Consejo Social UPM
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNCIDE 2011 (OTR-2011-0236)
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