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Descripción
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| The influence of substrate-bias on the HIPIMS Tungsten films | |
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Internacional
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Si |
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Nombre congreso
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5th International Conference on High Power Impulse Magnetron Sputtering (HIPIMS) 2014 |
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Tipo de participación
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960 |
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Lugar del congreso
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Sheffield, UK |
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Revisores
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Si |
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ISBN o ISSN
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0000-0000 |
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DOI
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Fecha inicio congreso
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30/06/2014 |
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Fecha fin congreso
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03/07/2014 |
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Título de las actas
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Proceedings |