Memorias de investigación
Otras publicaciones:
Substrate texturing for homogeneous deposition of tilted c-axis AlN films for shear mode operation
Año:2017
Áreas de investigación
  • Tecnología electrónica y de las comunicaciones
Datos
Descripción
Comunicación al congreso EFTF2017
Internacional
Si
Entidad
IEEE EFTF2017 Porceedings
Lugar
USA
Páginas
561-564
Referencia/URL
Tipo de publicación
IEEE proceedings
Participantes
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro de Materiales y Dispositivos Avanzados para Tecnologías de Información y Comunicaciones
  • Departamento: Ingeniería Electrónica