Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Communications at congresses:
Substrate texturing for homogeneous deposition of tilted c-axis AlN films for shear mode operation
Year:2017
Research Areas
  • Electronic technology and of the communications
Information
Abstract
Texturización de sustratos para el crecimiento de capas de AlN uniformemente inclinadas
International
Si
Congress
Joint EFTF and IFCS Symposium
970
Place
Besançon-Francia
Reviewers
Si
ISBN/ISSN
2327-1914
10.1109
Start Date
09/07/2017
End Date
13/07/2017
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Proceedings of the 2017 Joint Conference of the European-Frequency-and-Time-Forum / IEEE International Frequency Control Symposium (EFTF/IFCS)
Participants
  • Autor: María Sierra Zapata
  • Autor: Jimena Olivares Roza (UPM)
  • Autor: Teona Mirea (UPM)
  • Autor: Enrique Iborra Grau (UPM)
  • Autor: Marta Clement Lorenzo (UPM)
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
S2i 2019 Observatorio de investigación @ UPM con la colaboración del Consejo Social UPM
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNCIDE 2011 (OTR-2011-0236)
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