Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
MICROACOUSTIC SENSORS WITH INTEGRATED CARBON NANOTUBES FOR HIGH VOC SENSITIVITY
Año:2019
Áreas de investigación
  • Dispositivos sensores,
  • Otros dispositivos electrónicos,
  • Materiales para ingeniería eléctrica y electrónica,
  • Tecnologías de integración para ingeniería eléctrica y electrónica,
  • Tecnología de dispositivos para ingeniería eléctrica y electrónica
Datos
Descripción
Electroacoustic resonators have proved to be appropriate candidates as VOC sensors owing to their high mass sensitivity. However, one of their drawbacks is their sensitivity to other external factors like the humidity. Here we propose an AlN-based solidly mounted resonator for VOC detection and humidity discrimination. This ability is achieved by defining different areas within the same device with different resonant characteristics by integrating carbon nanotubes (CNTs) in part of the exposed surface while leaving the other bare. While CNTs act as sensing elements adsorbing VOC molecules, hence originating larger frequency shifts, the bare zone is affected only by the ambient humidity.
Internacional
Si
Nombre congreso
2019 20TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS & EUROSENSORS XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII)
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Glasgow, UK
Revisores
Si
ISBN o ISSN
978-1-7281-2007-2
DOI
Fecha inicio congreso
23/06/2019
Fecha fin congreso
27/06/2019
Desde la página
1890
Hasta la página
1892
Título de las actas
PROCEEDINGS OF THE 2019 20TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS & EUROSENSORS XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII)
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Departamento: Ingeniería Electrónica