Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
A SOLIDLY MOUNTED RESONATOR WITH CMOS-FABRICATED ACOUSTIC MIRROR FOR LOW-COST AIR QUALITY MONITORING
Año:2019
Áreas de investigación
  • Componente electrónico,
  • Microelectrónica,
  • Dispositivos sensores,
  • Otros dispositivos electrónicos,
  • Materiales para ingeniería eléctrica y electrónica
Datos
Descripción
This work presents a novel Solidly Mounted Resonator (SMR) device for use in a portable, low-cost and low power air quality monitor. The acoustic mirror, an essential part of the SMR device for energy confinement, is fabricated within a CMOS process, and advances upon current acoustic device technology. This CMOS-fabricated acoustic mirror will enable the device to be monolithically integrated and fabricated in high volume with reduced post-processing steps compared to the state-of-the-art acoustic based sensors. The CMOS-fabricated acoustic mirror demonstrated good reflectivity with a high quality factor of 500. Experimental results on particulate matter sensing with the CMOS based SMR sensor showed a response of 117 kHz/ng when detecting fine particles (<1 mu m).
Internacional
Si
Nombre congreso
2019 20TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS & EUROSENSORS XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII)
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Berlin, Alemania
Revisores
Si
ISBN o ISSN
978-1-7281-2007-2
DOI
Fecha inicio congreso
23/06/2019
Fecha fin congreso
27/06/2019
Desde la página
1242
Hasta la página
1245
Título de las actas
PROCEEDINGS OF THE 2019 20TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS & EUROSENSORS XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII)
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Enrique Iborra Grau (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
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