Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Research Publications in journals:
E. SILLERO, D. LÓPEZ-ROMERO, F. CALLE, M. EICKHOFF, J. F. CARLIN, N. GRANDJEAN, M. ILEGEMS "Selective etching of AlInN/GaN heterostructures for MEMS technology" Microelectronic Engineering 84, 1152-1156 (2007) ISSN: 0167-9317
Year:2007
Research Areas
  • Electronics engineering
Information
Abstract
Relacionado con línea de investigación de Dispositivos de ondas acústicas superficiales (SAW) y Microsistemas optoelectromecánicos
International
Si
JCR
Si
Title
MICROELECTRON ENG
ISBN
0167-9317
Impact factor JCR
1,503
Impact info
Volume
Journal number
0
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Month
SIN MES
Ranking
Participants
  • Autor: J. F. CARLIN
  • Autor: M. EICKHOFF,
  • Autor: David Lopez-Romero Moraleda (UPM)
  • Autor: Fernando Calle Gomez (UPM)
  • Autor: N. GRANDJEAN
  • Autor: Eugenio Sillero Herrero (UPM)
  • Autor: M. ILEGEMS
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
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