Memorias de investigación
Artículos en revistas:
Electrical detection of the mechanical resonances in AlN-actuated microbridges for mass sensing applications
Año:2008
Áreas de investigación
  • Industria electrónica
Datos
Descripción
We report the fabrication and frequency characterization of mechanical resonators piezoelectrically actuated with aluminum nitride films. The resonators consist of a freestanding unimorph structure made up of a metal/AlN/metal piezoelectric stack and a Si3N4 supporting layer. We show that the electrical impedance of the one-port device can be used to assess the vibrational behavior of the resonators, provided that the modes do not exhibit specific symmetries, for which the impedance variations cancel. Frequency shifts arise when loading the resonators with small masses. As gravimetric sensors, the microbridges exhibit mass sensitivities of 0.18 fg/Hz for vibrational modes around 2 MHz.
Internacional
Si
JCR del ISI
Si
Título de la revista
APPLIED PHYSICS LETTERS
ISSN
0003-6951
Factor de impacto JCR
3,596
Información de impacto
Volumen
92
DOI
00036951
Número de revista
18
Desde la página
183506-1
Hasta la página
183506-3
Mes
MAYO
Ranking
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Departamento: Sistemas Electrónicos y de Control
  • Departamento: Tecnología Electrónica
  • Departamento: Ingeniería Electrónica