Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
PIEZOELECTRIC CHARACTERIZATION OF AlN THIN FILMS ON SILICON SUBSTRATES
Año:2008
Áreas de investigación
  • Industria electrónica
Datos
Descripción
Abstract: The electric field induced deformations of thin piezoelectric, aluminium nitride (AlN) layers, on top of a silicon substrate, were studied by numerical calculations and interferometric measurements. Our calculation by finite element method demonstrates that substrate deformation under the top electrode may be comparable to the deformation in the thin AlN layer, for a given applied voltage. Simulations also show the effect of a clamped or free substrate condition and the relative contributions of d33 and d31 piezoelectric constants. A Laser scanning vibrometry technique was used to measure deformations in the top surface with sub-picometer vertical resolution. By comparing calculations and experimental data, quantitative information about both d31 and d33 constants can be obtained. Keywords: piezoelectric, AlN, vibrometer
Internacional
Si
Nombre congreso
Eurosensors 2008
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Dresde
Revisores
Si
ISBN o ISSN
978-3-00-025217-4
DOI
Fecha inicio congreso
07/09/2008
Fecha fin congreso
10/09/2008
Desde la página
857
Hasta la página
860
Título de las actas
Eurosensors 2008 Proceedings
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Departamento: Tecnología Electrónica