Capítulo de libro:
Plasma basic concepts and nitrogen containing plasmas
Año:2008
Áreas de investigación
- Materiales magnéticos
Datos
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Descripción
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| well as the typical characterization methods currentlyavailable. A brief overview about some plasmaapplications is given, but focusing on plasma used in material processing mainly devoted to the microelectronics industry. Finally, specific applications related to plasma-assisted MBE for nitridesand dilute nitrides are given, showing some interesting research works performed to that purpose,and giving the usual characterization techniquescommonly used in such processes. | |
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Internacional
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Si |
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DOI
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Edición del Libro
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1 |
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Editorial del Libro
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Transworld Research |
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ISBN
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81-7895-250-5 |
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Serie
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Título del Libro
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Nitrides and dilute nitrides: Growth, physics and devices (2008). |
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15 |
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46 |
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Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
- Participante: ISABEL TANARRO CSIC
- Autor: M. del Mar Sanz Lluch UPM
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
- Creador: Grupo de Investigación: Grupo de dispositivos magnéticos del ISOM
- Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología