Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Communications at congresses:
E. Sillero, A. Bengoechea, M. A. Sánchez-García, F. Calle "III-Nitride MEMS grown by MBE on Si(111): Fabrication and mechanical characterisation" 16th European Workshop on Heterostructures Technology Frejus (Francia) 2 al 5 de septiembre de 2007
Year:2007
Research Areas
  • Electronics engineering
Information
Abstract
Relacionado con línea de investigación de Crecimiento epitaxial de nitruros del grupo III para aplicaciones en biosensores y detectores de IR
International
Si
Congress
16th European Workshop on Heterostructures Technology Frejus (Francia) 2 al 5 de septiembre de 2007
960
Place
Frejus (Francia)
Reviewers
Si
ISBN/ISSN
Start Date
02/09/2007
End Date
05/09/2007
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Participants
  • Autor: Ana Mª Bengoechea Encabo (UPM)
  • Autor: Eugenio Sillero Herrero (UPM)
  • Autor: Fernando Calle Gomez (UPM)
  • Autor: Miguel Angel Sanchez Garcia (UPM)
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
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