Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
E. Sillero, A. Bengoechea, M. A. Sánchez-García, F. Calle "III-Nitride MEMS grown by MBE on Si(111): Fabrication and mechanical characterisation" 16th European Workshop on Heterostructures Technology Frejus (Francia) 2 al 5 de septiembre de 2007
Año:2007
Áreas de investigación
  • Industria electrónica
Datos
Descripción
Relacionado con línea de investigación de Crecimiento epitaxial de nitruros del grupo III para aplicaciones en biosensores y detectores de IR
Internacional
Si
Nombre congreso
16th European Workshop on Heterostructures Technology Frejus (Francia) 2 al 5 de septiembre de 2007
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Frejus (Francia)
Revisores
Si
ISBN o ISSN
DOI
Fecha inicio congreso
02/09/2007
Fecha fin congreso
05/09/2007
Desde la página
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Título de las actas
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Ana Mª Bengoechea Encabo (UPM)
  • Autor: Eugenio Sillero Herrero (UPM)
  • Autor: Fernando Calle Gomez (UPM)
  • Autor: Miguel Angel Sanchez Garcia (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
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