Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Book chapters:
ROBUST HYBRIDIZATION OF NANOSTRUCTURED BURIED INTEGRATED OPTICAL WAVEGUIDE SYSTEMS WITH ON-CHIP FLUID HANDLING FOR CHEMICAL ANALYSIS
Year:2008
Research Areas
  • Fluid mechanics,
  • Polymers,
  • Electronics engineering,
  • Magnetic materials
Information
Abstract
We report a method that enables the combination of integrated optical systems with on-chip fluid handling for chemical analysis, without compromising the functionality of either part. Utilizing a selective isotropic plasma etch of a sacrificial chromium etch-stop layer, fluidic connections can be made down to buried nanostructured optical sensing elements in a controlled manner. We describe the fabrication method and present an example application to a label-free assay of protein concentration based on optical slot-waveguide micro-ring resonator refractive index sensors.
International
Si
Book Edition
0
Book Publishing
ISBN
978-0-9798064-1-4
Series
Book title
Twelfth International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences
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399
To page
401
Participants
  • AUTOR: A. GRIOL (UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE VALENCIA)
  • AUTOR: B. SÁNCHEZ (UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE VALENCIA)
  • AUTOR: V. GONZÁLEZ-PEDRO (UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE VALENCIA)
  • AUTOR: K.B. GYLFASON (KTH-ROYAL INSTITUTE OF TECHNOLOGY, ESTOCOLMO (SUECIA))
  • AUTOR: G. STEMME (KTH-ROYAL INSTITUTE OF TECHNOLOGY, ESTOCOLMO (SUECIA))
  • Autor: Rafael Casquel Del Campo (UPM)
  • Autor: Carlos Angulo Barrios (UPM)
  • AUTOR: A. MAQUIEIRA (UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE VALENCIA)
  • AUTOR: H. SOHLSTRÖM (KTH-ROYAL INSTITUTE OF TECHNOLOGY, ESTOCOLMO (SUECIA))
  • Autor: Miguel Holgado Bolaños (UPM)
  • AUTOR: D. HILL (UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE VALENCIA)
  • AUTOR: M.J. BAÑULS (UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE VALENCIA)
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: Grupo de Investigación: Ingeniería y Aplicaciones del Láser
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro Laser
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
  • Departamento: Física Aplicada a la Ingeniería Industrial
  • Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
S2i 2019 Observatorio de investigación @ UPM con la colaboración del Consejo Social UPM
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNCIDE 2011 (OTR-2011-0236)
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNPACTO (IPT-020000-2010-22)