Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Communications at congresses:
libro de resumenes
Year:2008
Research Areas
  • Magnetic materials
Information
Abstract
ANALISIS DE CRECIMIENTO DE NITRURO DE SILICIO
International
No
Congress
21 reunion de espectroscopia y 5 congreso iberico de espectroscopia
960
Place
murcia
Reviewers
No
ISBN/ISSN
00-0000-000-0
no tiene isbn
Start Date
09/09/2008
End Date
11/09/2008
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3
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3
Plasma and surface diagnostics of silicon nitride thin film coatings generated by SiH4+NH3 RF discharges.
Participants
  • Participante: et al. (CSIC.UPM)
  • Autor: M. del Mar Sanz Lluch (UPM)
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de dispositivos magnéticos del ISOM
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