Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Patents:
Actuador electrostático para microsistemas electromecánicos (MEMS)
Year:2009
Research Areas
  • Electronics engineering
Information
Abstract
Actuador electrostático para microsistemas electromecánicos que utiliza acumulaciones de carga inducidas o creadas en ellos que se usan como amplificadores de la fuerza electrostática tradicional que habría sobre dichos dispositivos sin esas acumulaciones o zonas de carga de espacio donde las zonas de carga de espacio que consiguen esa amplificación quedan entre, al menos, dos electrodos (1,6) configurados para que dichas zonas de carga de espacio puedan ser moduladas por la tensión aplicada entre dichos electrodos (1,6); y donde, además, comprende una unión rectificadora (2) entre una metalización propia del primer electrodo (1) y el material propio del microdispositivo (3); y donde un contacto óhmico (8) sobre el material del dispositivo y el contacto (1) de la metalización, permiten polarizar la unión rectificadora (2) y modular su zona de carga de espacio; todo ello de tal forma que al estar conectado el contacto óhmico (8) con el electrodo (6) mediante el contacto (7), se logra la interacción electrostática entre el electrodo (6) y la zona de carga espacial de la unión (2).
International
Si
Status
application number
P200802857
under exploitation
No
Date
08/10/2008
Owner
Participants
  • Autor: Jose Ignacio Izpura Torres (UPM)
  • Autor: Javier Malo Gomez (UPM)
  • Autor: Enrique Iborra Grau (UPM)
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: No seleccionado
  • Departamento: Sistemas Electrónicos y de Control
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
  • Departamento: Tecnología Electrónica
  • Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
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