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Descripción
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| Relacionado con Línea de Investigación del Grupo GDS-ISOM, consultar en http://www.isom.upm.es/invdes.php | |
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Internacional
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Si |
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Nombre congreso
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International Symposium of Plasma Chemistry 19 |
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Tipo de participación
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960 |
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Lugar del congreso
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Bochum (Germany), 2009 |
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Revisores
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Si |
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ISBN o ISSN
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0000000000000 |
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DOI
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Fecha inicio congreso
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26/07/2009 |
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Fecha fin congreso
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31/07/2009 |
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Título de las actas
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"Plasma and surface diagnostics of silicon nitride thin film coatings" |