Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Communications at congresses:
I. TANARRO, MM. SANZ, M.F. ROMERO, E. MUÑOZ, A. JIMÉNEZ "Plasma and surface diagnostics of silicon nitride thin film coatings" International Symposium of Plasma Chemistry 19 Bochum (Germany), 2009
Year:2009
Research Areas
  • Electronics engineering
Information
Abstract
Relacionado con Línea de Investigación del Grupo GDS-ISOM, consultar en http://www.isom.upm.es/invdes.php
International
No
Congress
Relacionado con Línea de Investigación del Grupo GDS-ISOM, consultar en http://www.isom.upm.es/invdes.php
960
Place
International Symposium of Plasma Chemistry 19
Reviewers
Si
ISBN/ISSN
0000000000000
Start Date
27/07/2009
End Date
31/07/2009
From page
0
To page
0
"Plasma and surface diagnostics of silicon nitride thin film coatings"
Participants
  • Autor: Fatima Romero Rojo (UPM)
  • Autor: Elias Muñoz Merino (UPM)
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
S2i 2020 Observatorio de investigación @ UPM con la colaboración del Consejo Social UPM
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNCIDE 2011 (OTR-2011-0236)
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNPACTO (IPT-020000-2010-22)