Memorias de investigación
Artículos en revistas:
Thermal stability of copper nitride thin films: The role of nitrogen migration
Año:2010
Áreas de investigación
  • Ingeniería mecánica, aeronaútica y naval
Datos
Descripción
The atomic composition, structural, morphological, and optical properties of N-rich copper nitride thin films have been investigated prior to and after annealing them in vacuum at temperatures up to 300 °C. Films were characterized by means of ion-beam analysis IBMA, X-ray diffraction XRD, atomic force microscopy AFM, and spectroscopic ellipsometry techniques SE. The data reveal that even when the total integrated over the whole thickness atomic composition of the films remains constant, nitrogen starts to migrate from the bulk to the film surface, without out-diffusing, at temperatures as low as 100 °C. This migration leads to two chemical phases with different atomic concentration of nitrogen, lattice parameters, and crystallographic orientation but with the same crystal structure. XRD experimental and Rietveld refined data seem to confirm that nitrogen excess accommodates in interstitial locations within the anti-ReO3 crystal lattice forming a solid solution. The influence of nitrogen migration on the optical electronic properties of the films will be discussed.
Internacional
Si
JCR del ISI
No
Título de la revista
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 103513
ISSN
0021-8979
Factor de impacto JCR
0
Información de impacto
Volumen
107
DOI
Número de revista
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Mes
ENERO
Ranking
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Participante: F. AGULLO-LOPEZ Centro de Microanálisis de Materiales
  • Participante: N. GORDILLO Centro de Microanálisis de Materiales
  • Autor: Raquel Gonzalez Arrabal UPM
  • Participante: R. RUIZ-BUSTOS Instituto de Energías Renovables
  • Participante: M.S. MARTIN-GONZALEZ Instituto de Microelectrónica de Madrid
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Fusión Nuclear Inercial y Tecnología de fusión
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto de Fusión Nuclear