Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Patents:
Dispositivo de filtrado de ondas acústicas de volumen
Year:2010
Research Areas
  • Electronic technology and of the communications
Information
Abstract
Dispositivo de filtrado de ondas acústicas de volumen BAW, que comprende una pluralidad de filtros, con una pluralidad de resonadores, con frecuencias de resonancia diferentes integrados en un sustrato común, cuyo método de fabricación comprende: - depositar una estructura de aislamiento acústico y eléctrico (2, 3) sobre la superficie superior de un sustrato, - depositar una capa de un metal como electrodo inferior (4) y semilla para el crecimiento de la capa subsiguiente, - depositar secuencialmente una pluralidad de capas delgadas de material piezoeléctrico (5, 6) sobre el electrodo inferior (4), situadas en las posiciones donde un resonador, con la frecuencia correspondiente al espesor de dichas capas, se quiera situar, y su posterior grabado, - eliminar todo el material usado como máscara en el grabado realizado, - depositar, sobre todos los resonadores, una capa metálica de espesor constante, que constituye el electrodo superior (7) de cada resonador de cada filtro.
International
Si
Status
Concedida
application number
P200900936
under exploitation
No
Date
06/04/2009
Owner
Participants
  • Inventor Contacto: Enrique Iborra Grau (UPM)
  • Inventor: Jimena Olivares Roza (UPM)
  • Inventor: Marta Clement Lorenzo (UPM)
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: No seleccionado
  • Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Departamento: Tecnología Electrónica
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