Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Research Project:
PELICULAS DELGADAS DE MATERIALES PIEZOELECTRICOS PARA APLICACIONES EN RESONADORES DE ONDAS ACUSTICAS DE VOLUMEN: NITRURO DE ALUMINIO Y NUEVOS OXIDOS COMPLEJOS FE
Year:2010
Research Areas
  • Electronic technology and of the communications
Information
Abstract
En este proyecto se abordó el depósito de capas delgadas de AlN para resonadores FBAR de alta frecuencia (> 3GHz). Se aúnan los campos de los resonadores acústicos y el de los dispositivos MEMS, en los que el GMME ha incidido en los últimos años. Se desarrolla la tecnología de fabricación de resonadores FBAR adaptando las tecnologías de micromecanizado en superficie desarrolladas para microsistemas en otro proyecto del Plan Nacional no incluido aquí.
International
No
Project type
Proyectos y convenios en convocatorias públicas competitivas
Company
Ministerio de Educación y Ciencia
Entity Nationality
ESPAÑA
Entity size
Desconocido
Granting date
Participants
  • Director: Enrique Iborra Grau (UPM)
  • Participante: Jesus Sangrador Garcia (UPM)
  • Participante: Marta Clement Lorenzo (UPM)
  • Participante: Jimena Olivares Roza (UPM)
  • Participante: Jose Ignacio Izpura Torres (UPM)
  • Participante: Javier Malo Gomez (UPM)
  • Participante: José Capilla Osorio (UPM)
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Departamento: Sistemas Electrónicos y de Control
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
  • Departamento: Tecnología Electrónica
S2i 2019 Observatorio de investigación @ UPM con la colaboración del Consejo Social UPM
Cofinanciación del MINECO en el marco del Programa INNCIDE 2011 (OTR-2011-0236)
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