Memorias de investigación
Otras publicaciones:
E-beam fabrication on silicon nitride of Fabry-Perot optical sensors
Año:2011
Áreas de investigación
  • Ingenierías
Datos
Descripción
E-beam fabrication on silicon nitride of Fabry-Perot optical sensors
Internacional
No
Entidad
Lugar
Páginas
Referencia/URL
Congreso: 37th International Conference on Micro and Nano Engineering
Tipo de publicación
Póster
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: A. Griol
  • Autor: J. Mira
  • Autor: J. Hurtado
  • Autor: L. Bellieres
  • Autor: J. Ayucar
  • Autor: J. Martí
  • Autor: Miguel Holgado Bolaños UPM
  • Autor: Rafael Casquel Del Campo UPM
  • Autor: Francisco Javier Sanza Gutierrez UPM
  • Autor: F.J. Aparicio
  • Autor: A. Barranco
  • Autor: A. Borrás
  • Autor: A.R. González-Elipe
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Investigación en Ingeniería y Aplicaciones del Láser
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro Laser