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E-beam fabrication on silicon nitride of Fabry-Perot optical sensors
E-beam fabrication on silicon nitride of Fabry-Perot optical sensors
Año:2011
Áreas de investigación
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Ingenierías
Datos
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Descripción
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| E-beam fabrication on silicon nitride of Fabry-Perot optical sensors | |
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Internacional
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No |
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Entidad
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Lugar
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Páginas
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Referencia/URL
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Congreso: 37th International Conference on Micro and Nano Engineering |
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Tipo de publicación
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Póster |
Participantes
- Autor: A. Griol
- Autor: J. Mira
- Autor: J. Hurtado
- Autor: L. Bellieres
- Autor: J. Ayucar
- Autor: J. Martí
- Autor: Miguel Holgado Bolaños (UPM)
- Autor: Rafael Casquel Del Campo (UPM)
- Autor: Francisco Javier Sanza Gutierrez (UPM)
- Autor: F.J. Aparicio
- Autor: A. Barranco
- Autor: A. Borrás
- Autor: A.R. González-Elipe
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
- Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Investigación en Ingeniería y Aplicaciones del Láser
- Centro o Instituto I+D+i: Centro Laser
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