Observatorio de I+D+i UPM

Descripción
This paper reports the simultaneous fabrication of Receive and Transmit Bulk Acoustic Wave filters for the WCDMA standard on the same die. Both filters are based on Solidly Mounted Resonators using a common Bragg mirror, but with each having a specific piezoelectric film thickness. Electrical measurements reveal that the process steps required to provide the two different piezoelectric film thicknesses on the same die does not impact the electrical performances of resonators and filters and that this approach could thus be generalised to more than two filters.
Internacional	Si
Nombre congreso	2011 IEEE International Frequency Control Symposium
Tipo de participación	960
Lugar del congreso	San Francisco, EE. UU.
Revisores	Si
ISBN o ISSN	1075-6787
DOI	10.1109/FCS.2011.5977800
Fecha inicio congreso	01/05/2011
Fecha fin congreso	05/05/2011
Desde la página	1
Hasta la página	5
Título de las actas	2011 IEEE International Frequency Control Symposium Proc.

Esta actividad pertenece a memorias de investigación

• Autor: Marta Clement Lorenzo (UPM)
• Autor: Jimena Olivares Roza (UPM)
• Autor: Enrique Iborra Grau (UPM)
• Autor: Alexandre Reinhardt (CEA LETI, Minatec Campus, Grenoble, France)
• Autor: Jean-Baptiste David (CEA LETI, Minatec Campus, Grenoble, France)
• Autor: Christine Fuchs (CEA LETI, Minatec Campus, Grenoble, France)
• Autor: Nick Rimmer (SPP Process Technology Systems UK Ltd.)
• Autor: Steve Burgess (SPP Process Technology Systems UK Ltd.)

• Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
• Centro o Instituto I+D+i: Centro de Materiales y Dispositivos Avanzados para Tecnologías de Información y Comunicaciones
• Departamento: Tecnología Electrónica