Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Cursos, seminarios y tutoriales:
AlN - nanodiamond based MEMS and NEMS. Prof. Vadim Lebedev
Año:2011
Áreas de investigación
  • Ingenierías
Datos
Descripción
Future generations of MEMS require new advanced materials with significantly improved mechanical and chemical properties. Nanodiamond (ND) and AlN thin films have recently attracted much attention due to their applicability in rf and bio-medical transducer applications. AlN/ND- based microstuctures show a very good coupling efficiency, offering an essential advantage over conventional solutions combining the advanced mechanical properties, simplicity of microfabrication, chemical inertness, long life and the ability to operate in harsh environments. This allows for the realization of unique micromechanical devices, e.g. ultrasensitive robust sensors, adjustable rf components as well as strain-engineered optical MEMS. The development AlN/ND heterostructures for adjustable microlenses, rf switches and implantable piezo-generators is addressed in this talk with particular focus on high frequency applications.
Internacional
No
Nombre congreso
Seminarios del ISOM
Entidad organizadora
ISOM-DIE-ETSIT-UPM
Nacionalidad Entidad
Sin nacionalidad
Lugar/Ciudad de impartición
ISOM-DIE-ETSIT-UPM
Fecha inicio
05/12/2012
Fecha fin
05/12/2012
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Fernando Calle Gomez (UPM)
  • Autor: Prof. Vadim Lebedev
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
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