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Abstract
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| El presente proyecto propone el estudio sistemático de capas finas de materiales con funcionalidades diversas y de tecnologías de microfabricación para su aplicación en dispositivos de actuación piezoeléctrica basados en nitruro de aluminio (AlN), como resonadores de ondas acústicas de volumen (BAW) para filtrado de señales de radio de muy alta frecuencia o sensores gravimétricos para la detección de agentes biológicos en medio líquido. Entre los materiales se encuentran el propio AlN piezoeléctrico, los electrodos para su excitación (Ir, W, Mo, etc.), los materiales para la fabricación de reflectores acústicos para aislar los resonadores del sustrato (SiO2 poroso, TiO2, Ta2O5, AlN, W, Ir, etc.) y otros materiales con diversas funcionalidades como los empleados en la compensación del coeficiente de variación de la frecuencia con la temperatura, en el encapsulado o los requeridos para el micromecanizado en superficie de los dispositivos MEMS (capas de sacrificio). Se hará especial hincapié en el estudio del proceso de depósito del AlN por pulverización no sólo para obtener láminas bien orientadas y con prestaciones similares a las mejores del estado del arte, sino también para controlar la inclinación de sus microcristales y su polaridad piezoeléctrica de forma selectiva en áreas determinadas del sustrato. Proponemos llevar el estudio de estos materiales hasta hacerlos funcionar en estructuras de prueba específicas y dispositivos de funcionalidad completa. Se proponen dos tipos de dispositivos con funcionalidades diferentes: resonadores acústicos de volumen (BAW) con modos longitudinales para el filtrado de señales de alta frecuencia en bandas de transmisión inalámbrica entre 2 y 10 GHz y resonadores acústicos o mecánicos con modos transversales para sensores en medio líquido. Entre estos últimos se contemplan dos tipos de resonadores BAW con deformación en cizalladura, uno de ellos con cristales de AlN inclinados y excitación longitudinal y otro con capas AlN de piezoelectricidad modulada localmente y excitación coplanar, y resonadores mecánicos basados en estructuras suspendidas (MEMS) operando en modos extensionales en el plano del sustrato. | |
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International
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No |
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Project type
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Proyectos y convenios en convocatorias públicas competitivas |
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Company
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Ministerio de Economía y Competitividad |
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Entity Nationality
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ESPAÑA |
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Entity size
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Gran Empresa (>250) |
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Granting date
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01/01/2011 |