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Descripción
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| El concepto de Super-Resolución (Subwavelength-Resolution) de imágenes se refiere a la capacidad de sistemas ópticos que pueden producir imágenes con detalle no limitado por longitud de onda de la luz. Se espera que los sistemas de Subwavelength-Resolution produzcan una revolución en varias áreas como microscopios ópticos o dispositivos acústicos. La naturaleza ondulatoria de la luz impone el último límite en la resolución de los sistemas ópticos clásicos debido a la difracción. Un sector donde esta limitación es particularmente importante es en la fabricación de dispositivos semiconductores, un mercado para instrumentación óptica de alrededor de 6,000 M?/año. La industria de circuitos integrados produce dispositivos cada vez más reducidos como medio de conseguir mayores funcionalidades a más reducido coste. Para conseguir esta progresiva reducción de tamaño, la longitud de onda utilizada en los procesos de litografía tiene que reducirse al extremo. Láseres en el UV profundo (DUV, de 193 nm ArF excimerlaser) es usado en la actualidad y los últimos sistemas en desarrollo están basados en longitudes de onda aún más cortas (EUV, 13.5 nm plasma-emisión de Sn).Trabajar con estas longitudes de onda, que solo se pueden producir con partículas cargadas, introduce formidables retos tecnológicos por lo que cualquier sistema óptico alternativo es muy deseable. | |
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Internacional
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No |
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Tipo de proyecto
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Proyectos y convenios en convocatorias públicas competitivas |
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Entidad financiadora
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MINISTERIO DE CIENCIA E INNOVACIÓN |
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Nacionalidad Entidad
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ESPAÑA |
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Tamaño de la entidad
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Pequeña Empresa (11-50) |
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Fecha concesión
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01/12/2011 |