Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
Piezoelectric and Electroacoustic Properties of V-Doped and Ta-Doped AlN Thin Films
Año:2013
Áreas de investigación
  • Tecnología electrónica y de las comunicaciones
Datos
Descripción
In this paper we analyze the effects of doping AlN films with vanadium and tantalum to concentrations up to 6% atomic. The structure and composition of the new compounds are assessed as a function of the dopant concentration by x-ray diffraction (XRD), IR reflectance and Rutherford backscattering spectrometry (RBS). Test devices consisting on bulk acoustic wave resonators are used to assess the piezoelectric activity of the compounds as well as other material properties, such as the acoustic velocities and the piezoelectric constant. Films doped with vanadium show an overall worsening of their main properties for acoustics applications. Films doped with tantalum show variations in their wurtzite crystal structure that suggests that an improvement of the piezoelectric activity can be achieved as long as films exhibiting good crystal quality and homogeneous dipole orientation can be grown.
Internacional
Si
Nombre congreso
2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Praga, República Checa
Revisores
Si
ISBN o ISSN
978-1-4799-0342-9
DOI
Fecha inicio congreso
21/07/2013
Fecha fin congreso
25/07/2013
Desde la página
262
Hasta la página
265
Título de las actas
2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium Proceedings
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Enrique Iborra Grau (UPM)
  • Autor: Jimena Olivares Roza (UPM)
  • Autor: Marta Clement Lorenzo (UPM)
  • Autor: José Capilla Osorio (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro de Materiales y Dispositivos Avanzados para Tecnologías de Información y Comunicaciones
  • Departamento: Tecnología Electrónica
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