Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
Acoustic Properties of Carbon Nanotube Electrodes in BAW Resonators
Año:2013
Áreas de investigación
  • Tecnología electrónica y de las comunicaciones
Datos
Descripción
In this paper the acoustic characterization of a layer of carbon nanotubes (CNT) deposited on AlN solidly mounted resonators is described. The structure of the CNT layer is analyzed by scanning electron microscopy and Raman spectroscopy. The electrical sheet resistance is derived from 4 point probe measurements and from the fitting of the electrical response of the resonators. Values of sheet resistance around 100 ?/? are measured. The longitudinal acoustic velocity is derived from the fitting of the electrical response of the resonators using Mason?s model, by adjusting the overtones produced in the CNT layer. A mean value of 62000 m·s-1 is obtained, although some devices show values around 90000 m·s-1, close to the theoretical value of 100000 m·s-1. Some results on the deposition of CNT layers on metallic top electrodes and their influence on the performance of the resonator are also presented.
Internacional
Si
Nombre congreso
2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Praga, República Checa
Revisores
Si
ISBN o ISSN
978-1-4799-0342-9
DOI
Fecha inicio congreso
21/07/2013
Fecha fin congreso
25/07/2013
Desde la página
984
Hasta la página
987
Título de las actas
2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium Proceedings
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Enrique Iborra Grau (UPM)
  • Autor: Jesus Sangrador Garcia (UPM)
  • Autor: Marta Clement Lorenzo (UPM)
  • Autor: Teona Mirea (UPM)
  • Autor: Mario De Miguel Ramos (UPM)
  • Autor: Jimena Olivares Roza (UPM)
  • Autor: José Capilla Osorio (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro de Materiales y Dispositivos Avanzados para Tecnologías de Información y Comunicaciones
  • Departamento: Tecnología Electrónica
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