Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
IR-Reflectance Assessment of the Tilt Angle of AlN-Wurtzite Films for Shear Mode Resonators
Año:2013
Áreas de investigación
  • Tecnología electrónica y de las comunicaciones
Datos
Descripción
In this paper we propose the use of infrared spectroscopy as an alternative technique to X-ray diffraction for the assessment of the crystal orientation of aluminum nitride thin films. Infrared scans of samples with different tilt angles of the c-axis are measured to accurately determine the structure of the longitudinal optical absorption band, which is found to be the composition of the contributions of three different populations of grains with different angles of tilt of the c-axis. A direct relationship is established between the wavenumber of these contributions and the actual angle of tilt measured through a XRD ?-scan.
Internacional
Si
Nombre congreso
2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Praga, República Checa
Revisores
Si
ISBN o ISSN
978-1-4799-0342-9
DOI
Fecha inicio congreso
21/07/2013
Fecha fin congreso
25/07/2013
Desde la página
118
Hasta la página
121
Título de las actas
2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium Proceedings
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Jimena Olivares Roza (UPM)
  • Autor: Mario De Miguel Ramos (UPM)
  • Autor: Enrique Iborra Grau (UPM)
  • Autor: Marta Clement Lorenzo (UPM)
  • Autor: Teona Mirea (UPM)
  • Autor: Moreira Milena (Universidad de Uppsala)
  • Autor: Ilia Katardjiev (Universidad de Uppsala)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro de Materiales y Dispositivos Avanzados para Tecnologías de Información y Comunicaciones
  • Departamento: Tecnología Electrónica
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