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Abstract
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| Se fabricaron películas y polvos de ZrO2, con concentraciones de 8, 9 y 10 % molar de Yb2O3 a partir de precursores líquidos utilizando sol-gel. Las películas se fabricaron mediante Spin Coating sobre distintos sustratos; El quemado de los residuos orgánicos se realizó a 500ºC en atmósfera normal y se trataron térmicamente hasta una temperatura máxima de 1300ºC incluyendo tratamientos de envejecido. Se hicieron capacitores Pt/YbZO/Pt depositando por Sputtering electrodos de Pt sobre la cara superior de películas sintetizadas sobre sustratos de Si/SiO2/TiOx/Pt y se estudiaron sus propiedades eléctricas mediante Espectroscopia de Impedancias. Se estudió la evolución térmica de las fases, la morfología y el tamaño de grano, utilizando microscopía de fuerza atómica (AFM), difracción de Rayos X de haz rasante (GI-XRD). Los polvos se utilizaron para comparar las propiedades del material en volumen con respecto a las propiedades de las películas delgadas | |
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International
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Si |
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Congress
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13 SAM-CONAMET 13 INTERNATIONAL CONGRESS OF SCIENCIA AND TECHNOL. M. MAT. |
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960 |
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Place
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IGUAZU-ARGENTINA |
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Reviewers
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Si |
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ISBN/ISSN
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0000-0000 |
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Start Date
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20/08/2013 |
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End Date
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23/08/2013 |
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143 |
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SAM-CONAMET 2013 |