Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
Assessment of the Acoustic Shear Velocity in SiO2 and Mo layers for Acoustic Reflectors
Año:2014
Áreas de investigación
  • Tecnología electrónica y de las comunicaciones
Datos
Descripción
We present a method to assess the shear acoustic velocity in SiO2 and Mo sputtered films, which are materials commonly used as low and high acoustic impedance layers in the acoustic reflectors of solidly mounted resonators. The method consists in the analysis of the frequency response of AlN-based resonators operating in the shear mode using acoustic mirrors specifically designed to obtain a half-wavelength resonance in the layer under study, the thickness of which is thickened to achieve a significant signal. After measuring the thickness and mass densities of all the layers composing the resonator, the fitting by Mason?s model of the electrical response in a wide frequency range provides accurate values of both the longitudinal and the shear mode velocities. The shear acoustic velocities of porous SiO2 and Mo are 3150 m/s and 3450 m/s respectively. This method allows assessing the shear mode acoustic velocity of any material by adequately designing the test structure.
Internacional
Si
Nombre congreso
European frequency and time forum 2014
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Neuchatel (Suiza)
Revisores
Si
ISBN o ISSN
978-1-4799-5252-6
DOI
Fecha inicio congreso
23/06/2014
Fecha fin congreso
26/06/2014
Desde la página
36
Hasta la página
39
Título de las actas
Proceedings of the European frequency and time forum 2014
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Mario De Miguel Ramos (UPM)
  • Autor: Teona Mirea (UPM)
  • Autor: Jimena Olivares Roza (UPM)
  • Autor: Marta Clement Lorenzo (UPM)
  • Autor: Jesus Sangrador Garcia (UPM)
  • Autor: Enrique Iborra Grau (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro de Materiales y Dispositivos Avanzados para Tecnologías de Información y Comunicaciones
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
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