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Descripción
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| La presente propuesta plantea el desarrollo de una tecnología para la fabricación de microsistemas electromecánicos (MEMS) accionados piezoeléctricamente usando como material activo nitruro de aluminio depositado en película delgada por pulverización reactiva. Se propone desarrollar una tecnología que sea compatible con los materiales y procesos usados habitualmente en las tecnologías del silicio. Será asimismo compatible con otros tipos de sustratos como vidrios o cerámicas. Como demostradores de la tecnología desarrollada se propone fabricar un micro-interruptor para líneas de RF o microondas y un sensor químico basado en un micro-resonador piezoeléctrico recubierto de polímeros selectivos. La elección de los dos dispositivos demostradores se ha basado en el análisis de las necesidades de grupos de investigación potencialmente usuarios. La consecución de este proyecto permitirá al grupo adquirir los conocimientos y técnicas esenciales para el desarrollo de estructuras MEMS que tendrán como resultado la consolidación de las colaboraciones existentes en el entorno nacional y el establecimiento de nuevas colaboraciones con otros grupos de I+D y empresas del entorno europeo que, no disponiendo de este tipo de tecnologías, han mostrado ya su interés por ellas para las aplicaciones específicas de sus campos. | |
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Internacional
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No |
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Tipo de proyecto
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Proyectos y convenios en convocatorias públicas competitivas |
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Entidad financiadora
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Ministerio de Educación y Ciencia |
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Nacionalidad Entidad
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ESPAÑA |
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Tamaño de la entidad
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Desconocido |
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Fecha concesión
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28/12/2005 |