Memorias de investigación
Research Publications in journals:
Optimized tilted c-axis AlN films for improved operation of shear mode resonators
Year:2015

Research Areas

Information
Abstract
0
International
Si
JCR
Si
Title
THIN SOLID FILMS
ISBN
0040-6090
Impact factor JCR
1,867
Impact info
Volume
590
10.1016/j.tsf.2015.08.010
Journal number
From page
219
To page
223
Month
Ranking
0
Participants

Research Group, Departaments and Institutes related
  • Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro de Materiales y Dispositivos Avanzados para Tecnologías de Información y Comunicaciones