Artículos en revistas:
Post-CMOS compatible high-throughput fabrication of AIN-based piezoelectric microcantilevers
Año:2015
Áreas de investigación
Datos
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Descripción
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Internacional
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Si |
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JCR del ISI
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Si |
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Título de la revista
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JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING |
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ISSN
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0960-1317 |
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Factor de impacto JCR
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1,725 |
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Información de impacto
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Volumen
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25 |
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DOI
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10.1088/0960-1317/25/2/025003 |
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Número de revista
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2 |
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Ver publicación en Archivo digital upm
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
- Autor: a. perez-campos UPM
- Autor: g. f. iriarte UPM
- Autor: f. calle UPM
- Autor: j. hernando-garcia
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
- Creador: No seleccionado
- Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
- Departamento: Ingeniería Electrónica
- Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
- Departamento: Ciencia de Materiales