Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Artículos en revistas:
Post-CMOS compatible high-throughput fabrication of AIN-based piezoelectric microcantilevers
Año:2015
Áreas de investigación
Datos
Descripción
0
Internacional
Si
JCR del ISI
Si
Título de la revista
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING
ISSN
0960-1317
Factor de impacto JCR
1,725
Información de impacto
Volumen
25
DOI
10.1088/0960-1317/25/2/025003
Número de revista
2
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11
Mes
Ranking
0
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: a. perez-campos (UPM)
  • Autor: g. f. iriarte (UPM)
  • Autor: f. calle (UPM)
  • Autor: j. hernando-garcia
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: No seleccionado
  • Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
  • Departamento: Ciencia de Materiales
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