Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Artículos en revistas:
Tungsten oxide layers of high acoustic impedance for fully insulating acoustic reflectors
Año:2015
Áreas de investigación
  • Tecnología electrónica y de las comunicaciones
Datos
Descripción
Gravimetric sensors based on solidly mounted resonators require fully insulating acoustic reflectors to avoid parasitics when operating in liquid media. In this work we propose a new high acoustic impedance material, tungsten oxide (WO3), for acoustic reflectors. We have optimized the sputtering conditions of WO3 to obtain nonconductive layers with mass density around 6700 kg/m3 and acoustic velocities for the shear and the longitudinal modes up to 2700 m/s and 4500 m/s, respectively. Compared to other conventionally used high impedance layers, WO3 films display several manufacture advantages, such as high deposition rates, great reproducibility and good adhesion to underlying substrates. We have demonstrated the applicability of WO3 in practical shear mode bulk acoustic wave resonators that display good performance in liquid environments.
Internacional
Si
JCR del ISI
Si
Título de la revista
Ieee Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics And Frequency Control
ISSN
0885-3010
Factor de impacto JCR
1,503
Información de impacto
Volumen
DOI
10.1109/TUFFC.2015.2498968
Número de revista
Desde la página
1
Hasta la página
7
Mes
SIN MES
Ranking
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Participantes
  • Autor: Mario De Miguel Ramos (UPM)
  • Autor: Barbara Diaz Duran (UPM)
  • Autor: Junaid Munir (University Technology Malaysia)
  • Autor: Marta Clement Lorenzo (UPM)
  • Autor: Teona Mirea (UPM)
  • Autor: Jimena Olivares Roza (UPM)
  • Autor: Enrique Iborra Grau (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro de Materiales y Dispositivos Avanzados para Tecnologías de Información y Comunicaciones
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
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