Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
Influence of induced stress on AlN-solidly mounted resonators
Año:2016
Áreas de investigación
  • Tecnología electrónica y de las comunicaciones
Datos
Descripción
Abstract: The frequency variation of solidly mounted resonators made with AlN thin films operating in longitudinal and shear acoustic modes with induced in plane mechanical strain is presented. The induced deformation range is in the hundreds of microstrains and the frequency variations in the hundreds of kHz, giving coefficients of resonant frequency with deformation in the order of 56% per unit strain. The influence on this parameter of the resonant mode, coupling factor and frequency is analyzed.
Internacional
Si
Nombre congreso
European Frequency and Time Forum (EFTF), 2016
Tipo de participación
970
Lugar del congreso
York (UK)
Revisores
Si
ISBN o ISSN
978-1-5090-0720-2
DOI
Fecha inicio congreso
04/04/2016
Fecha fin congreso
07/04/2016
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Título de las actas
Proceedings in European Frequency and Time Forum (EFTF), 2016
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Álvaro Delicado (UPM)
  • Autor: Marta Clement Lorenzo (UPM)
  • Autor: Jimena Olivares Roza (UPM)
  • Autor: Teona Mirea (UPM)
  • Autor: Barbara Diaz Duran (UPM)
  • Autor: Enrique Iborra Grau (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro de Materiales y Dispositivos Avanzados para Tecnologías de Información y Comunicaciones
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
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