Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
Thermal modelling of laser silicon crystallization
Año:2016
Áreas de investigación
  • Física,
  • Fisica sm -- estructura de materiales,
  • Ingenierías,
  • Ingenieria mecanica
Datos
Descripción
In this work we present a study of the irradiating time and wavelength influence in laser annealing of amorphous silicon thin films, using both continuous wave and pulsed laser sources emitting at wave- lengths ranging from UV to IR. Experimental characterization of the crystallized samples have been obtained by MicroRaman spectroscopy. A simple thermal finite element model (FEM) has been devel- oped in COMSOL Multiphysics to simulate the process by solving numerically the two dimensional non-linear heat transfer equation with a steady heat source. The local temperature evolution in the ir- radiated area given by the FEM model is compared to the crystalline fraction profiles. The numerical model developed helps to understand the physics underlying and determine the process parameters in which crystalline silicon is obtained without damage or ablation of the silicon surface.
Internacional
Si
Nombre congreso
19th European Conference on Mathematics for Industry
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Santiago de Compostela
Revisores
Si
ISBN o ISSN
CDP08UPM
DOI
http://dx.doi.org/10.15304/cc.2016.968
Fecha inicio congreso
13/06/2016
Fecha fin congreso
17/06/2016
Desde la página
256
Hasta la página
256
Título de las actas
19th European Conference on Mathematics for Industry: book of Abstracts
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Carlos Luis Molpeceres Alvarez (UPM)
  • Autor: Yu Chen (UPM)
  • Autor: David Muñoz Martin (UPM)
  • Autor: David Canteli (UPM)
  • Autor: Miguel Morales Furio (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Manufactura Avanzada con Láser
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro Laser
  • Departamento: Física Aplicada e Ingeniería de Materiales
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