Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
Substrate texturing for homogeneous deposition of tilted c-axis AlN films for shear mode operation
Año:2017
Áreas de investigación
  • Tecnología electrónica y de las comunicaciones
Datos
Descripción
Texturización de sustratos para el crecimiento de capas de AlN uniformemente inclinadas
Internacional
Si
Nombre congreso
Joint EFTF and IFCS Symposium
Tipo de participación
970
Lugar del congreso
Besançon-Francia
Revisores
Si
ISBN o ISSN
2327-1914
DOI
10.1109
Fecha inicio congreso
09/07/2017
Fecha fin congreso
13/07/2017
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Título de las actas
Proceedings of the 2017 Joint Conference of the European-Frequency-and-Time-Forum / IEEE International Frequency Control Symposium (EFTF/IFCS)
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: María Sierra Zapata
  • Autor: Jimena Olivares Roza (UPM)
  • Autor: Teona Mirea (UPM)
  • Autor: Enrique Iborra Grau (UPM)
  • Autor: Marta Clement Lorenzo (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
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