Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Artículos en revistas:
Calibration of boron concentration in CVD single crystal diamond combining ultralow energy secondary ions mass spectrometry and high resolution X-ray diffraction
Año:2007
Áreas de investigación
  • Industria electrónica
Datos
Descripción
En este artículo se usan espectrometría de masas de iones secundarios y difractometría de rayos X de alta resolución para calibrar el contenido de boro de muestras de diamante monocristalino crecidas por CVD. Se indican las dificultades de dicha calibración y se proponen algunas soluciones para realizarla de forma fiable.
Internacional
Si
JCR del ISI
Si
Título de la revista
DIAM RELAT MATER
ISSN
0925-9635
Factor de impacto JCR
1,788
Información de impacto
Volumen
16
DOI
Número de revista
0
Desde la página
809
Hasta la página
814
Mes
SIN MES
Ranking
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Participante: B. Guzmán de la Mata (University of Warwick)
  • Participante: M. Schwitters (Element Six Ltd.)
  • Autor: Alfredo Sanz Hervas (UPM)
  • Participante: M.G. Dowsett (University of Warwick)
  • Participante: D. Twitchen (Element Six Ltd.)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Departamento: Tecnología Electrónica
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