Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Artículos en revistas:
E. SILLERO, D. LÓPEZ-ROMERO, F. CALLE, M. EICKHOFF, J. F. CARLIN, N. GRANDJEAN, M. ILEGEMS "Selective etching of AlInN/GaN heterostructures for MEMS technology" Microelectronic Engineering 84, 1152-1156 (2007) ISSN: 0167-9317
Año:2007
Áreas de investigación
  • Industria electrónica
Datos
Descripción
Relacionado con línea de investigación de Dispositivos de ondas acústicas superficiales (SAW) y Microsistemas optoelectromecánicos
Internacional
Si
JCR del ISI
Si
Título de la revista
MICROELECTRON ENG
ISSN
0167-9317
Factor de impacto JCR
1,503
Información de impacto
Volumen
DOI
Número de revista
0
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Ranking
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: J. F. CARLIN
  • Autor: M. EICKHOFF,
  • Autor: David Lopez-Romero Moraleda (UPM)
  • Autor: Fernando Calle Gomez (UPM)
  • Autor: N. GRANDJEAN
  • Autor: Eugenio Sillero Herrero (UPM)
  • Autor: M. ILEGEMS
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
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