Artículos en revistas:
E. SILLERO, D. LÓPEZ-ROMERO, F. CALLE, M. EICKHOFF, J. F. CARLIN, N. GRANDJEAN, M. ILEGEMS "Selective etching of AlInN/GaN heterostructures for MEMS technology" Microelectronic Engineering 84, 1152-1156 (2007) ISSN: 0167-9317
E. SILLERO, D. LÓPEZ-ROMERO, F. CALLE, M. EICKHOFF, J. F. CARLIN, N. GRANDJEAN, M. ILEGEMS "Selective etching of AlInN/GaN heterostructures for MEMS technology" Microelectronic Engineering 84, 1152-1156 (2007) ISSN: 0167-9317
Año:2007
Áreas de investigación
-
Industria electrónica
Datos
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Descripción
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| Relacionado con línea de investigación de Dispositivos de ondas acústicas superficiales (SAW) y Microsistemas optoelectromecánicos | |
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Internacional
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Si |
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JCR del ISI
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Si |
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Título de la revista
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MICROELECTRON ENG |
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ISSN
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0167-9317 |
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Factor de impacto JCR
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1,503 |
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Información de impacto
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Volumen
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DOI
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Número de revista
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0 |
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Mes
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Ranking
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Participantes
- Autor: J. F. CARLIN
- Autor: M. EICKHOFF,
- Autor: David Lopez-Romero Moraleda (UPM)
- Autor: Fernando Calle Gomez (UPM)
- Autor: N. GRANDJEAN
- Autor: Eugenio Sillero Herrero (UPM)
- Autor: M. ILEGEMS
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
- Creador: Grupo de Investigación: Grupo de Dispositivos Semiconductores del ISOM
- Centro o Instituto I+D+i: Instituto Universitario de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología
- Departamento: Ingeniería Electrónica
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