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Descripción
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| En este trabajo se presenta el análisis de una técnica de metrología óptica utilizada para el control de procesos en línea en la fabricación de microchips. Se obtienen los perfiles de reflectividad en función del ángulo de incidencia para una longitud de onda de 675 nm, para los estados de polarización s y p. Se obtiene un modelo teórico para una estructura multicapa, con la que se pueden calcular de forma sencilla las propiedades ópticas y dimensiones de las capas. Se obtiene la incertidumbre de la técnica de medida. | |
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Internacional
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No |
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Nombre congreso
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XVII Congreso Nacional de Ingeniería Mecánica |
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Tipo de participación
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960 |
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Lugar del congreso
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Gijón |
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Revisores
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Si |
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ISBN o ISSN
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0212-5072 |
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DOI
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Fecha inicio congreso
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14/02/2008 |
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Fecha fin congreso
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15/02/2008 |
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Título de las actas
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Actas del XVII Congreso Nacional de Ingeniería Mecánica |