Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Artículos en revistas:
Metrología óptica dimensional submicrométrica para determinación de espesores en sub-micro estructuras
Año:2008
Áreas de investigación
  • Ingeniería naval
Datos
Descripción
En este trabajo se presenta el análisis de una técnica de metrología óptica utilizada para el control de procesos en línea en la fabricación de microchips. Se obtienen los perfiles de reflectividad en función del ángulo de incidencia para una longitud de onda de 675 nm, para los estados de polarización s y p. Se obtiene un modelo teórico para una estructura multicapa, con la que se pueden calcular de forma sencilla las propiedades ópticas y dimensiones de las capas. Se obtiene la incertidumbre de la técnica de medida.
Internacional
No
JCR del ISI
No
Título de la revista
Anales de Ingeniería Mecánica
ISSN
0212-5072
Factor de impacto JCR
0
Información de impacto
Volumen
16
DOI
Número de revista
0
Desde la página
499
Hasta la página
504
Mes
ENERO
Ranking
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Rafael Casquel Del Campo (UPM)
  • Autor: Carlos Luis Molpeceres Alvarez (UPM)
  • Autor: Jose Luis Ocaña Moreno (UPM)
  • Autor: Miguel Holgado Bolaños (UPM)
  • Autor: Miguel Morales Furio (UPM)
  • Autor: Angel M. Sanchez Perez (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Ingeniería y Aplicaciones del Láser
  • Centro o Instituto I+D+i: Centro Laser
  • Departamento: Física Aplicada a la Ingeniería Industrial
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