Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
BAW Resonators Based on AlN with Ir Electrodes for Digital Wireless Transmissions
Año:2008
Áreas de investigación
  • Industria electrónica
Datos
Descripción
We investigate the performance of aluminum nitride (AlN)-based solidly mounted resonators (SMR) made with iridium (Ir) electrodes for applications in WCDMA filters. Ir/AlN/Ir stacks are grown on top of insulating Bragg mirrors composed of alternate λ/4 layers of silicon oxycarbide (SiOC) and silicon nitride (Si3N4). We have developed the technological processes for the fabrication of filters including the trimming of the Ir top electrode for the tuning of the bandwidth. The influence of the thickness of the top electrode after the tuning process in the performance of the SMRs and filters is analyzed. The performance of the devices is compared with that of SMRs and filters of identical design made with Mo electrodes.
Internacional
Si
Nombre congreso
2008 IEEE International Ultrasonics Symposium
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Beijing, CHINA
Revisores
Si
ISBN o ISSN
1051-0117
DOI
10.1109/ULTSYM.2008.0542
Fecha inicio congreso
02/11/2008
Fecha fin congreso
05/11/2008
Desde la página
2189
Hasta la página
2192
Título de las actas
2008 IEEE International Ultrasonics Symposium Proceedings
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Departamento: Tecnología Electrónica