Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
Advanced determination of piezoelectric properties of AlN thin films on silicon substrates
Año:2008
Áreas de investigación
  • Industria electrónica
Datos
Descripción
Piezoelectric deformations of thin, aluminum nitride (AlN) layers, on top of a silicon substrate, were studied by numerical calculations and interferometric measurements. Our calculation by finite element method demonstrates that substrate deformation under the top electrode may be comparable to the electric field induced deformation in the thin AlN layer, for a given applied voltage. Simulations also show the effect of a clamped or free substrate condition and the relative contributions of d33 and d31 piezoelectric constants. A Laser scanning vibrometry technique was used to measure deformations in the top surface with sub-picometer vertical resolution. By comparing calculations and experimental data, quantitative
Internacional
Si
Nombre congreso
2008 IEEE International Ultrasonics Symposium
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
Beijing, CHINA
Revisores
Si
ISBN o ISSN
1051-0117
DOI
10.1109/ULTSYM.2008.0218
Fecha inicio congreso
02/11/2008
Fecha fin congreso
05/11/2008
Desde la página
903
Hasta la página
906
Título de las actas
2008 IEEE International Ultrasonics Symposium Proceedings
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Marta Clement Lorenzo (UPM)
  • Autor: Jimena Olivares Roza (UPM)
  • Autor: Enrique Iborra Grau (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
  • Departamento: Tecnología Electrónica
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