Memorias de investigación
Communications at congresses:
The effect of RF and MW power on the SiNx films grown by PECVD
Year:2007
Research Areas
  • Electronic circuits,
  • Electronic devices
Information
Abstract
International
No
Congress
6 Conferencia de Dispositivos Electrónicos
960
Place
El Escorial
Reviewers
No
ISBN/ISSN
Start Date
29/01/2007
End Date
02/02/2007
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Participants
Research Group, Departaments and Institutes related
  • Creador: Grupo de Investigación: Silicio y nuevos conceptos para células solares
  • Centro o Instituto I+D+i: Instituto de Energía Solar
  • Departamento: Electrónica Física