Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Ponencias en congresos:
libro de resumenes
Año:2008
Áreas de investigación
  • Materiales magnéticos
Datos
Descripción
ANALISIS DE CRECIMIENTO DE NITRURO DE SILICIO
Internacional
No
Nombre congreso
21 reunion de espectroscopia y 5 congreso iberico de espectroscopia
Tipo de participación
960
Lugar del congreso
murcia
Revisores
No
ISBN o ISSN
00-0000-000-0
DOI
no tiene isbn
Fecha inicio congreso
09/09/2008
Fecha fin congreso
11/09/2008
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Título de las actas
Plasma and surface diagnostics of silicon nitride thin film coatings generated by SiH4+NH3 RF discharges.
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Participante: et al. (CSIC.UPM)
  • Autor: M. del Mar Sanz Lluch (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: Grupo de Investigación: Grupo de dispositivos magnéticos del ISOM
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