Observatorio de I+D+i UPM

Memorias de investigación
Patentes:
Actuador electrostático para microsistemas electromecánicos (MEMS)
Año:2009
Áreas de investigación
  • Industria electrónica
Datos
Descripción
Actuador electrostático para microsistemas electromecánicos que utiliza acumulaciones de carga inducidas o creadas en ellos que se usan como amplificadores de la fuerza electrostática tradicional que habría sobre dichos dispositivos sin esas acumulaciones o zonas de carga de espacio donde las zonas de carga de espacio que consiguen esa amplificación quedan entre, al menos, dos electrodos (1,6) configurados para que dichas zonas de carga de espacio puedan ser moduladas por la tensión aplicada entre dichos electrodos (1,6); y donde, además, comprende una unión rectificadora (2) entre una metalización propia del primer electrodo (1) y el material propio del microdispositivo (3); y donde un contacto óhmico (8) sobre el material del dispositivo y el contacto (1) de la metalización, permiten polarizar la unión rectificadora (2) y modular su zona de carga de espacio; todo ello de tal forma que al estar conectado el contacto óhmico (8) con el electrodo (6) mediante el contacto (7), se logra la interacción electrostática entre el electrodo (6) y la zona de carga espacial de la unión (2).
Internacional
Si
Estado
Referencia Patente Prioritaria
P200802857
En explotación
No
Fecha solicitud
08/10/2008
Titulares aparte de la UPM
Esta actividad pertenece a memorias de investigación
Participantes
  • Autor: Jose Ignacio Izpura Torres (UPM)
  • Autor: Javier Malo Gomez (UPM)
  • Autor: Enrique Iborra Grau (UPM)
Grupos de investigación, Departamentos, Centros e Institutos de I+D+i relacionados
  • Creador: No seleccionado
  • Departamento: Sistemas Electrónicos y de Control
  • Departamento: Ingeniería Electrónica
  • Departamento: Tecnología Electrónica
  • Grupo de Investigación: Microsistemas y Materiales Electrónicos
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